삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체한 것으로 확인됐다.
삼성전자 관계자는 3일 "일부 공정에 일본산 이외의 제품을 투입했다"며 "민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획"이라고 밝혔다.
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